扫描电镜与透射电镜（扫描电镜与透射电镜的异同点）

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扫描电镜和透射电镜的用途是什么？

扫描电镜的电子束不穿过样品，只在样品表面扫描激发二次电子。获得的图像是三维图像，反映了样品的表面结构。所以扫描电镜标本不需要做成薄片。

透射电镜的电子束通过样品后，由物镜成像在中间镜上，再由中间镜和投影镜逐级放大，成像在荧光屏或照相底片上，以分辨精细的物质结构；因此，我们可以看到表面图像以及内部材料。标本必须制成超薄切片(50 ~ 100纳米)。简而言之，用扫描电镜观察样品的表面形貌，用透射电镜观察样品的结构形貌。总的来说，它们的结构是一样的，只是程序原理不同。一般来说，透射电镜的放大倍数更大，对真空的要求更高。

扫描电镜和透射电镜在原理上有什么区别和相似之处？

扫描电镜主要是样品经电子束照射后的二次电子成像，透射电镜的明场图像是透射电子成像。

经过50多年的发展，电子显微镜已经成为现代科学技术中不可缺少的工具。

扫描电子显微镜有哪几种成像方法？他们用什么样的探测器？

反向散射电子。背散射电是指一部分入射电子从固体样品中的原子核反弹回来。包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。背散射电子的范围很深，因为背散射电子的产额随着原子序数的增加而增加。因此，利用背散射电子作为成像信号，不仅可以分析形貌特征，还可以显示原子序数的对比，定性分析成分。

次级电子。二次电子是指被入射电子轰击的核外电子。二次电子来自表面50-500的区域，能量为0-50 eV。它对样品的表面状态非常敏感，能有效地显示样品表面的微观形貌。

吸收电子。入射电子进入样品后，经过多次非弹性散射(假设样品有足够的厚度，没有透射电子产生)，能量损失，最终被样品吸收。如果在样品和地之间连接一个高灵敏度的安培计，就可以测量样品对地的信号。如果吸收的电子信号被用作调制图像的信号，则其对比度与二次电子图像和反向散射电子图像的对比度互补。

传输的电子。如果样品的厚度小于入射电子的有效穿透深度，相当数量的入射电子可以穿过薄样品而成为透射电子。在样品底部探测到的透射电子信号中，既有与入射电子能量相同的弹性散射电子，也有能量损失不同的非弹性散射电子。一些能量损失为e的非弹性散射电子与分析区域的组成有关。因此，特征能量损失电子可以与电子能量分析器一起用于分析微区的成分。

典型的x光。特征X射线是一种具有特征能量和波长的电磁辐射，是原子内部的电子被激发后，在能级跃迁过程中直接释放出来的。如果X射线检测器检测到在样品的微区域中存在特征波长，则可以确定微区域中的相应元素。

Og电子公司。如果原子内部的电子在能级跃迁过程中释放的能量e不是以X射线的形式释放，而是原子核外的另一个电子被这个能量敲出，离开原子成为二次电子，这种电子称为俄歇电子。俄歇电子是从样品表面的几个原始层发射出来的，这表明俄歇电子信号适用于表面层的化学成分分析。背散射电子、二次电子和透射电子主要用于扫描电子显微镜和透射电子显微镜。特征X射线可用于能谱仪、电子探针等。俄歇电子可用于俄歇电子能谱仪，吸收电子也可用于扫描电子显微镜，形成吸收电子像。

透射显微镜和光学显微镜有什么异同？

透射电子显微镜(TEM)是利用电子的挥发性，用电子束撞击薄材料，观察透射电子束的成像或衍射光斑，从而获得材料形貌、晶体取向等结构信息。分辨率可达0.1nm，光学显微镜采用可见光照明，可以观察反射光或透射光，获得材料形貌信息。

用扫描电镜分析了薄膜样品的优缺点。

与光学显微镜和透射电子显微镜相比，扫描电子显微镜具有以下特点:

(1)可以直接观察样品的表面结构，样品尺寸可以达到120 mm× 80 mm× 50 mm..

(2)样品制备过程简单，不需要切片。

(3)样品可以在样品室中平移和旋转三度空，因此可以从各种角度观察样品。

(4)景深大，图像立体感强。扫描电镜的景深比光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。

(5)图像的放大范围广，分辨率相对较高。可以放大十倍到几十万倍，基本包括了从放大镜、光学显微镜到透射电镜的放大范围。

分辨率介于光学显微镜和透射电镜之间，可以达到3nm。

(6)电子束对样品的损伤和污染小。

(VII)在观察形态的同时，来自样品的其他信号也可用于微量成分分析。

扫描电子显微镜的分辨率是多少？

扫描电镜的分辨率为0.6-0.7纳米。

扫描电镜的放大倍数可以用M =Ac/As公式表示为AC-screen图像的边长。As——指电子束在样品上的扫描幅度。一般来说Ac是固定的(一般是100 mm)，所以可以通过改变As来改变放大倍数。目前大多数商用扫描电镜的放大倍数在20-20000倍之间，介于光学显微镜和透射电镜之间，即扫描电镜弥补了光学显微镜和透射电镜的放大倍数空。

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